惰性氣體如氬氣（AR）、氮氣（N2）、三氟化氮（NF3）、四氟化碳（CF4）、空氣以及氧氣（O2）和氫氣（H2）等活性氣體用于不同的清洗工藝。氣體的反應機理不同，如何讓文案具有附著力活性氣體的等離子體具有很強的化學反應性。具有不同性質的氣體有不同的污染物選擇用于清潔。當一種氣體被一種或多種附加氣體滲透時，這些元素的組合可以產生所需的蝕刻和清潔效果。
（5）平時對等離子清洗機進行維護或保養時，如何讓文案具有附著力需要先關閉等離子發生器電源，再進行相關維護工作。。等離子體表面處理技術在離子束刻蝕氣體團簇中的應用；用等離子體表面處理器進行氣體團簇離子束刻蝕具有傳統等離子體刻蝕所不具備的一系列特性。在傳統等離子體中，電子和離子的能量分布很寬，少數高能粒子在刻蝕靶材料過程中可以穿透表面數層原子，對襯底造成損傷。
3、化學性質活潑，如何讓文案具有附著力較易發生化學反應，如等離子體去除有機物等。4、發光特性，可制作多種光源。比如，霓虹燈、水銀日光燈等都是等離子發光現象。plasma設備產生的等離子體具有上述特征，是由于等離子體內電子與氣體分子之間的碰撞所致。當碰撞能很小時，發生彈性碰撞，而電子的動能幾乎沒有變化。當碰撞能量很高時，分子中低能電子繞核運動，在碰撞中將獲得足夠高的能量，從而被激發到遠離核的高能級軌道上進行運動。
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一種是圓柱形的，即射頻耦合天線螺旋纏繞在圓柱形放電管（通常是絕緣石英管）上，一種是扁平的，即射頻耦合天線同心螺旋布置在放電管頂部，射頻能量通過天線耦合到放電管上，產生高密度、均勻的ICP等離子體[7]。
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